एमईएमएस डिवाइस की निर्माण विधि

तकनीकी फील्ड

1. वर्तमान प्रकटीकरण बेहतर तनाव वितरण के साथ एक मेम्स डिवाइस से संबंधित है।

पृष्ठभूमि तकनीक:

2. जैसा कि सर्वविदित है, मेम्स ("माइक्रो इलेक्ट्रो मैकेनिकल सिस्टम") इलेक्ट्रॉनिक उपकरण, जैसे कि एक्ट्यूएटर और/या सेंसर, आमतौर पर एक सब्सट्रेट हाउसिंग कैविटी पर बनते हैं और इसमें चल संरचनाएं शामिल होती हैं जो ऊपर की गुहा से निलंबित और लोचदार द्वारा सीमित होती हैं। निश्चित क्षेत्र के लिए तत्व। सब्सट्रेट, जंगम संरचना और लोचदार तत्व अभिन्न हो सकते हैं, और आमतौर पर सिलिकॉन जैसे अर्धचालक सामग्री से बनते हैं।

3. इन इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों में ये भी शामिल हैं: एक या एक से अधिक एक्चुएशन और/या डिटेक्शन स्ट्रक्चर्स, जो चल संरचना से जुड़े होते हैं; और विद्युत नियंत्रण सर्किट, एक ही सब्सट्रेट में एकीकृत या विभिन्न सबस्ट्रेट्स में गठित और एक्ट्यूएशन और / या डिटेक्शन स्ट्रक्चर के लिए युग्मन, एक्ट्यूएशन स्ट्रक्चर को इलेक्ट्रिकल ड्राइव सिग्नल प्रदान कर सकते हैं और/या डिटेक्शन स्ट्रक्चर से इलेक्ट्रिकल डिटेक्शन सिग्नल प्राप्त कर सकते हैं।

4. विस्तार से, एक्ट्यूएटिंग संरचना विस्थापन का कारण बन सकती है, उदाहरण के लिए चल संरचना के रोटेशन, जब संबंधित विद्युत ड्राइव सिग्नल द्वारा नियंत्रित किया जाता है। इसी तरह, पता लगाने की संरचना को संबंधित विद्युत संकेतों को उत्पन्न करने के लिए कॉन्फ़िगर किया गया है जो चल संरचना की परिचालन स्थितियों का एक कार्य है, और उदाहरण के लिए, जंगम संरचना की घूर्णी सीमा का एक कार्य।

5. विद्युत नियंत्रण सर्किट और एक्चुएशन और/या डिटेक्शन संरचना आम तौर पर प्रवाहकीय पटरियों द्वारा एक दूसरे से विद्युत रूप से जुड़े होते हैं, उदाहरण के लिए प्रवाहकीय परतों के ढेर से बने होते हैं।

6. प्रवाहकीय रेल आम तौर पर निश्चित क्षेत्रों, लोचदार तत्वों, और कभी-कभी आंशिक रूप से चल संरचनाओं पर फैली हुई है।

7. उपयोग में, चल संरचना के विस्थापन के परिणामस्वरूप विरूपण होता है, उदाहरण के लिए, लोचदार तत्वों का घुमा, जो चल संरचना को निश्चित क्षेत्र तक सीमित रखता है।

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