पार्श्व मिश्रित ढांकता हुआ फिल्म और इसकी निर्माण विधि पर आधारित एक प्रकार की एमईएमएस माइक्रो-हॉट प्लेट

अनुप्रस्थ मिश्रित ढांकता हुआ फिल्म और इसकी निर्माण विधि पर आधारित एक प्रकार की एमईएमएस माइक्रो-हॉट प्लेट

तकनीकी फील्ड

1. वर्तमान आविष्कार मेम के तकनीकी क्षेत्र से संबंधित है, विशेष रूप से एक अनुप्रस्थ मिश्रित ढांकता हुआ फिल्म और एक निर्माण विधि के आधार पर एक मेम्स माइक्रो-हॉट प्लेट के लिए।

पृष्ठभूमि तकनीक:

2. मेम्स प्रक्रिया पर आधारित माइक्रो-हॉटप्लेट्स में लघुकरण, कम बिजली की खपत, तेज थर्मल प्रतिक्रिया और आसान एकीकरण के फायदे साबित हुए हैं, और माइक्रो-गैस सेंसर, माइक्रो-गैस फ्लो मीटर, इंफ्रारेड एमिटर में व्यापक रूप से उपयोग किए जाते हैं। , और माइक्रो-थर्मामीटर। उदाहरण के लिए, जब माइक्रो-गैस सेंसर के लिए माइक्रो-हॉट प्लेट का उपयोग किया जाता है, तो माइक्रो-गैस सेंसर का प्रदर्शन इसके ऑपरेटिंग तापमान और यांत्रिक स्थिरता से प्रभावित होता है। आमतौर पर, माइक्रो-गैस सेंसर के लिए उपयोग की जाने वाली माइक्रो-हॉट प्लेट को 150 डिग्री से 400 डिग्री का एक समान तापमान और अच्छा प्रदान करने की आवश्यकता होती है। माइक्रो-हॉट प्लेट की यांत्रिक स्थिरता के लिए आवश्यक है कि माइक्रो-हॉट प्लेट की ताप दर तेज हो और समान रूप से वितरित। मोबाइल उपकरणों में एकीकृत होने के लिए, माइक्रोहॉटप्लेट को जितना संभव हो सके बिजली की खपत को कम करने और उपयुक्त तापमान प्रदान करने की आवश्यकता होती है, जबकि अच्छा तापमान एकरूपता, यांत्रिक गुणों और हीटिंग दर को बनाए रखते हैं, जो माइक्रोहॉटप्लेट अनुसंधान के क्षेत्र में एक गर्म स्थान बन गया है।

3. वर्तमान मेम्स प्लानर माइक्रो-हॉट प्लेट आमतौर पर sio2, si3n4 या sio2, si3n4 फिल्मों का उपयोग एक ऊर्ध्वाधर दिशा में एक समर्थन परत और एक ढांकता हुआ परत बनाने के लिए करती है। हालांकि, केवल sio2 सामग्री का उपयोग करके माइक्रो-हॉट प्लेट की कम तापीय चालकता गर्मी के नुकसान को बढ़ाने और उच्च तापमान थर्मल विरूपण का कारण बनने में आसान है। केवल si3n4 सामग्री का उपयोग करने वाली माइक्रो-हॉट प्लेट उच्च तापमान वाले थर्मल विरूपण को कम कर सकती है और हीटिंग दर को बढ़ा सकती है, लेकिन उच्च तापीय चालकता sio2 और si3n4 के गुण पार्श्व गर्मी के नुकसान में वृद्धि और गर्म प्लेट के विरूपण को जन्म देते हैं। एक ऊर्ध्वाधर दिशा में संयुक्त sio2 और si3n4 फिल्मों से बना है, लेकिन पार्श्व गर्मी का नुकसान अभी भी मौजूद है। इन कारकों के कारण सस्पेंशन-ब्रिज-टाइप माइक्रो-हॉटप्लेट की तुलना में फ्लैट-टाइप माइक्रो-हॉटप्लेट की बड़ी तापीय चालन हानि और उच्च बिजली की खपत होती है। हालांकि, सस्पेंशन ब्रिज-टाइप माइक्रो-हॉट प्लेट की गंभीर समस्याएं बड़ी विकृति, आसान क्षति, और बाद के चरण में अन्य प्रक्रियाओं के साथ असंगति हैं, जिसके परिणामस्वरूप कम उपज, कम स्थिरता और इस प्रकार के माइक्रो के आधार पर डिवाइस की तैयारी की विश्वसनीयता होती है। -होट प्लैट।

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