सेमीकंडक्टर उद्योग में लिथोग्राफी प्रौद्योगिकी की महत्वपूर्ण स्थिति (4)

सेमीकंडक्टर उद्योग में लिथोग्राफी प्रौद्योगिकी की महत्वपूर्ण स्थिति (4)

● प्रकाश तरंगों की विशेषताएं और नक़्क़ाशी

वर्तमान में सक्रिय कई लिथोग्राफी प्रौद्योगिकियों को समझने से पहले, आइए पहले प्रकाश तरंगों की विशेषताओं को समझें। हल्की तरंगों में कई आवृत्तियां होती हैं। आवृत्ति किसी भी समय अंतराल (आमतौर पर एक सेकंड) में अंतरिक्ष में एक बिंदु से गुजरने वाली तरंगों की संख्या को संदर्भित करता है। माप की इसकी इकाई चक्र (तरंग) /सेकंड, या हर्ट्ज (हर्ट्ज) है। दृश्यमान प्रकाश की आवृत्ति को रंग कहा जाता है, जो 430 ट्रिलियन हर्ट्ज (लाल) से लेकर 750 ट्रिलियन हर्ट्ज (वायलेट) तक है। बेशक, आवृत्तियों की कुल सीमा दृश्य स्पेक्ट्रम से परे है, एक अरब से कम हर्ट्ज की रेडियो तरंगों से 3 अरब से अधिक हर्ट्ज की गामा किरणों तक।

प्रकाश तरंगों की आवृत्ति और ऊर्जा

जैसा कि ऊपर बताया गया है, प्रकाश तरंगें ऊर्जा तरंगें हैं। प्रकाश तरंगों की ऊर्जा इसकी आवृत्ति के आनुपातिक है: उच्च आवृत्ति प्रकाश में उच्च ऊर्जा होती है, और कम आवृत्ति प्रकाश में कम ऊर्जा होती है। इसलिए गामा किरणों में सबसे ज्यादा ऊर्जा होती है और रेडियो तरंगों में सबसे कम ऊर्जा होती है। दृश्यमान प्रकाश में, बैंगनी प्रकाश में सबसे बड़ी ऊर्जा है, जबकि लाल प्रकाश में सबसे छोटी ऊर्जा है।

EUV चरम पराबैंगनी प्रकाश का स्थान

उपरोक्त आंकड़े में, हम स्पष्ट रूप से स्पेक्ट्रम में EUV चरम पराबैंगनी प्रकाश की स्थिति देख सकते हैं । यह एक बहुत ही कम तरंगदैर्ध्य लिथोग्राफी तकनीक है, और इसका एक्सपोजर तरंगदैर्ध्य लगभग 13.5 एनएम है। तरंगदैर्ध्य और नक़्क़ाशी सटीकता के बीच वर्तमान सैद्धांतिक रूप से विश्वास संबंध के अनुसार, EUV प्रौद्योगिकी 5nm नीचे प्रक्रियाओं के साथ ट्रांजिस्टर नक़्क़ाशी कर सकते हैं ।

एकीकृत सर्किट उत्पाद प्रौद्योगिकी की बढ़ती मांग के साथ, फोटोलिथोग्राफी तकनीक ने बेहतर डिवाइस आकार का उत्पादन करने के संकल्प में लगातार सुधार किया है। वैश्विक लिथोग्राफी तकनीक की प्रगति। परंपरागत रूप से, फोटोलिथोग्राफी के संकल्प में सुधार एक्सपोजर तरंगदैर्ध्य को छोटा करने और लेंस के संख्यात्मक अपर्चर ना को बढ़ाने से ज्यादा कुछ नहीं है। आम तौर पर, तरंगदैर्ध्य को छोटा करना सबसे प्रभावी तरीकों में से एक है।

लेकिन वर्तमान में, तरंगदैर्ध्य को छोटा करने के मामले में, विभिन्न लिथोग्राफी उपकरण विक्रेताओं को कठिनाइयों का सामना करना पड़ रहा है, या तरंगदैर्ध्य को छोटा करना पूरे उद्योग के लिए सबसे बड़ी चुनौती बन गया है । विभिन्न सक्रिय लिथोग्राफी प्रौद्योगिकियों में, EUV प्रौद्योगिकी में सबसे कम एक्सपोजर तरंग दैर्ध्य है, लेकिन वर्तमान में आगे बढ़ना बहुत मुश्किल है। हालांकि 193m पारंपरिक ऑप्टिकल लिथोग्राफी तकनीक पुरानी है, लेकिन इमर्सिव तकनीक के अलावा, यह लगभग 22एनएम प्रक्रिया तक विस्तारित करने में सक्षम है।