विद्युत और भौतिक कनेक्शन के साथ ऑन-चिप सिग्नल पथ बनाने की विधि

पृष्ठभूमि तकनीक:

1. कई आइटम जैसे स्मार्टफोन, स्मार्ट वॉच, टैबलेट, ऑटोमोबाइल, हवाई ड्रोन, उपकरण, विमान, मोशन एड्स और गेम कंट्रोलर अपने ऑपरेशन के दौरान सेंसर (उदाहरण के लिए, मोशन सेंसर) का उपयोग करते हैं, प्रेशर सेंसर, तापमान सेंसर, आदि।) . व्यावसायिक अनुप्रयोगों में, माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल (मेम्स) डिवाइस या सेंसर, जैसे एक्सेलेरोमीटर और जाइरोस्कोप, जटिल आंदोलनों को पकड़ते हैं और अभिविन्यास या दिशा निर्धारित करते हैं। उदाहरण के लिए, स्मार्टफोन नेविगेशन सिस्टम को बढ़ाने के लिए एक्सेलेरोमीटर और जायरोस्कोप से लैस हैं जो ग्लोबल पोजिशनिंग सिस्टम (जीपीएस) की जानकारी पर निर्भर हैं। एक अन्य उदाहरण में, विमान जाइरोस्कोपिक माप (जैसे, रोल, पिच, और यॉ) के आधार पर हेडिंग निर्धारित करता है और वाहन सुरक्षा में सुधार के लिए सहायक स्टीयरिंग (जैसे, स्किड या रोल स्थिति की पहचान करने के लिए) को लागू करता है।

2. चूंकि अधिक से अधिक उत्पाद विभिन्न अनुप्रयोगों के लिए मेम्स प्रौद्योगिकी को शामिल करते हैं, इसलिए मेम्स उपकरणों को कई रूप कारकों और लघु उपकरणों में एकीकृत किया जाना चाहिए। एक मेम्स डिवाइस में आम तौर पर कई घटक और सिस्टम शामिल हो सकते हैं, जैसे कि माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल घटकों, एनालॉग और डिजिटल सर्किटरी, और माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल घटकों से जुड़े संकेतों के आधार पर आउटपुट कंप्यूटिंग के लिए अन्य संबंधित प्रोसेसिंग सर्किटरी। इसके अलावा, इन घटकों को बाहरी वातावरण से संरक्षित किया जाना चाहिए, अन्य घटकों के साथ पैक और परस्पर जुड़ा होना चाहिए। परिणामी मेम डिवाइस, हालांकि बहुत छोटा है, फिर भी एंड-यूज़ डिवाइस के भीतर मूल्यवान स्थान लेता है।

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