तकनीकी कार्यान्वयन के तत्व एमईएमएस वेक्टर हाइड्रोफोन के लिए क्रॉस-बीम संवेदनशील संरचनाओं के लिए पोस्ट-सीएमओएस रिलीज विधि के तत्व

तकनीकी कार्यान्वयन तत्व:

5. मेम्स प्रक्रिया का उपयोग करके सीएमओ के साथ संगत होने के आधार पर संरचना रिलीज को पूरा करने की समस्या को हल करने के लिए, वर्तमान आविष्कार मेम्स वेक्टर हाइड्रोफोन की क्रॉस बीम संवेदनशील संरचना के लिए पोस्ट-सीएमओएस रिलीज विधि प्रदान करता है।

6. वर्तमान आविष्कार निम्नलिखित तकनीकी समाधानों के माध्यम से प्राप्त किया गया है: एक मेम्स वेक्टर हाइड्रोफोन के लिए उन्मुख क्रॉस बीम संवेदनशील संरचना के बाद सीएमओ जारी करने की एक विधि, जिसमें निम्नलिखित चरण शामिल हैं: चरण (1) सतह की अशुद्धियों को दूर करने के लिए सेमीोस चिप को व्यवस्थित रूप से साफ करना; सेमीोस चिप का चयन, क्रिस्टल ओरिएंटेशन "100", पी-टाइप सब्सट्रेट, सतह मेम्स क्षेत्र में सिलिकॉन नाइट्राइड निष्क्रियता परत को सेमीोस प्रक्रिया में प्रतिरूपित किया गया है।

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