नीलम दबाव संवेदनशील संरचना के लिए नीलम वेफर प्रत्यक्ष संबंध विधि के तकनीकी अहसास तत्व

तकनीकी कार्यान्वयन तत्व:

5. इस समस्या को हल करने के लिए कि मौजूदा तकनीक नीलम दबाव संवेदनशील संरचना में नीलम वेफर के प्रत्यक्ष बंधन को महसूस करना मुश्किल है और तैयार दबाव सेंसर के कम काम करने वाले तापमान, वर्तमान आविष्कार एक नीलम वेफर प्रत्यक्ष संबंध प्रदान करता है नीलम दबाव संवेदनशील संरचना। बंधन विधि।

6. वर्तमान आविष्कार को निम्नलिखित तकनीकी योजना को अपनाने के द्वारा महसूस किया गया है: नीलमणि दबाव-संवेदनशील संरचना के साथ नीलम वेफर्स के सीधे बंधन के लिए एक विधि, जिसमें निम्नलिखित चरण शामिल हैं: 1) मैकेनिकल कटिंग या लेजर कटिंग द्वारा नीलम वेफर को पूर्व-टुकड़ा करना , पूर्व-लेखन नीलम वेफर प्राप्त करें; 2), सैफायर वेफर बी को कैविटी से बाहर निकालें, और फिर सैफायर वेफर बी को प्री-स्क्राइब करने के लिए मैकेनिकल कटिंग या लेजर कटिंग का उपयोग करें, नक़्क़ाशी प्राप्त करने के लिए, सैफायर वेफर बी को प्री-स्क्राइब करें; 3), प्री-स्क्राइबिंग सैफायर वेफर ए और एच्च्ड और प्री-स्क्राइबिंग सैफायर वेफर बी को क्रमिक रूप से आरसीए द्वारा साफ किया जाता है और अल्ट्रासोनिक रूप से विआयनीकृत पानी से साफ किया जाता है, और फिर तनु में एक हाइड्रॉक्सिल परत बनाने से पहले एक केंद्रित फॉस्फोरिक एसिड समाधान द्वारा नक़्क़ाशी की जाती है। सल्फ्यूरिक एसिड 0.5-1 mol/l की सांद्रता के साथ, विआयनीकृत पानी से कुल्ला, और हाइड्रोफिलिक प्रीट्रीटेड नीलम वेफर ए और नीलम वेफर बी प्राप्त करना;

4) हाइड्रोफिलिक प्रीट्रीटमेंट के बाद नीलम वेफर ए और नीलम वेफर बी को संरेखित करें और ढेर करें, उन्हें प्री-बॉन्डिंग के लिए एक बॉन्डर में डालें, और एक प्री-बॉन्डेड नीलम वेफर प्राप्त करें; 5), पूर्व-बंधुआ नीलम वेफर्स रखें बंधुआ नीलम वेफर को स्थिरता में रखा जाता है और तय किया जाता है, और फिर बॉन्डिंग उपकरण के वैक्यूम चैंबर के हीटिंग चैंबर और बॉन्डिंग के ऊपरी दबाव प्लेटफॉर्म के नीचे दबाव प्लेटफॉर्म पर रखा जाता है। उपकरण संचालित किया जाता है

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