माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम डिवाइस और समान बनाने की विधि

1. वर्तमान आविष्कार माइक्रो-मैकेनिकल सिस्टम के तकनीकी क्षेत्र से संबंधित है, और विशेष रूप से, माइक्रो-इलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम डिवाइस और इसकी पैकेजिंग संरचना से संबंधित है।

पृष्ठभूमि तकनीक:

2. माइक्रो-इलेक्ट्रो-मैकेनिकल सिस्टम (मेम्स, माइक्रो-इलेक्ट्रो-मैकेनिकल सिस्टम), जिसे माइक्रो-इलेक्ट्रो-मैकेनिकल सिस्टम, माइक्रो-सिस्टम, माइक्रो-मशीन, आदि के रूप में भी जाना जाता है, के आकार के साथ उच्च तकनीक वाले उपकरणों को संदर्भित करता है। कई मिलीमीटर या उससे भी छोटा।

3. माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम डिवाइस (या मेम्स डिवाइस) मैकेनिकल और इलेक्ट्रॉनिक घटकों को बनाने के लिए सेमीकंडक्टर तकनीक का उपयोग करके बनाए गए उपकरण हैं। सामान्य एमईएमएस उपकरणों में रेज़ोनेटर, एक्सेलेरेटर, प्रेशर सेंसर, एक्ट्यूएटर, मिरर, हीटर और प्रिंटर नोजल शामिल हैं। क्रैकिंग, रिंकलिंग, डिलेमिनेशन, वारपिंग, फोल्डिंग इत्यादि जैसे संरचनात्मक परिवर्तन, डिवाइस फ़ंक्शन की विफलता का कारण बन सकते हैं।

4. उपर्युक्त दोषों को ध्यान में रखते हुए, एक नया एमईएमएस उपकरण और इसकी पैकेजिंग संरचना प्रदान करना आवश्यक है।

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